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激光干涉仪

仪器设备

资产编号:2019002001

设备名称:激光干涉仪

品牌型号:XL-80

联系人

姓名:李彦凤 电话:13589043316

邮箱:12692@sdjzu.edu.cn

设备主要

技术参数

1.线性‌测量精度:±0.5 ppm(环境温度0°C-40°C,气压650-1150毫巴)。‌

2.激光稳频精度:1年内±0.05 ppm,1小时内±0.02 ppm。‌

3.分辨率:1 nm(最高速度4 m/s下仍可保持)。‌

4.数据采集频率:高达50 kHz。‌

5.测量模式:支持线性、角度、直线度、垂直度及回转轴测量。‌

服务领域及用途

1.用于机床、CMM等运动系统的几何误差检测与补。‌

2.可识别阿贝误差等潜在问题,提升设备整体精度。‌

3.线纹尺检测:分辨率达纳米级,支持全自动误差补。‌

4.实验室标准溯源:如香港标准及校正实验所的线纹尺测量系统。‌

应用示例

1.测量机器的几何量误。

2.执行各种测试可验证机器性能是否提升,并确保机器符合技术规格

设备图片